特許

J-GLOBAL ID：200903049379349450

抵抗測定装置及び抵抗測定方法

発明者： 河合 正志 ,  小川 武男
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-081163
公開番号（公開出願番号）：特開平7-287039
出願日： 1994年04月20日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】【目的】被測定抵抗を含む全体のリーク電流分を正確に把握し、このリーク電流分を測定電流から取り除くことによって、測定精度を十分に高めることを目的とする。【構成】直流電圧源と、該直流電圧源の正極側に一端を接続する第1スイッチ要素及び第2スイッチ要素と、該直流電圧源の負極側に一端を接続する第3スイッチ要素及び第4スイッチ要素と、前記第1スイッチ要素及び第3スイッチ要素の他端に接続する第1測定プローブと、前記第2スイッチ要素及び第4スイッチ要素の他端に接続する第2測定プローブと、前記直流電圧源に直列接続された電流測定手段と、前記第1スイッチ要素、第2スイッチ要素、第3スイッチ要素及び第4スイッチ要素を選択的にオンオフする制御手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

直流電圧源(10)と、該直流電圧源(10)の正極側に一端を接続する第1スイッチ要素(11)及び第2スイッチ要素(12)と、該直流電圧源(10)の負極側に一端を接続する第3スイッチ要素(13)及び第4スイッチ要素(14)と、前記第1スイッチ要素(11)及び第3スイッチ要素(13)の他端に接続する第1測定プローブ(15)と、前記第2スイッチ要素(12)及び第4スイッチ要素(14)の他端に接続する第2測定プローブ(16)と、前記直流電圧源(10)に直列接続された電流測定手段(17)と、前記第1スイッチ要素(11)、第2スイッチ要素(12)、第3スイッチ要素(13)及び第4スイッチ要素(14)を選択的にオンオフする制御手段(18)と、を備えたことを特徴とする抵抗測定装置。

IPC (2件)：

G01R 27/02 ,  H01L 21/66