ウエハ検査方法及びシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：加藤朝道 , 内田潔人 , 三宅俊男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-176420
公開番号（公開出願番号）：特開2006-003364
出願日： 2005年06月16日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

【課題】ウエハ表面上の欠陥及びエラーを十分なコントラストで提示可能にするウエハ検査方法及びシステムを提供すること。【解決手段】とりわけ露光エラーのようなマクロ欠陥を検出するためのウエハ(16)の検査方法であって、ウエハ表面(17)の少なくとも1つの被検領域がビーム源(22)によって照明され、該ウエハ表面の被検領域の画像がカメラ(7)によって撮像され、該ウエハ表面の被検領域が得られた画像に基づいて検査される方法において、前記ウエハ表面(17)の前記被検領域は、テレセントリックに照明されることを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

露光エラーのようなマクロ欠陥を検出するためのウエハ(16)の検査方法であって、ウエハ表面(17)の少なくとも1つの被検領域がビーム源(22)によって照明され、該ウエハ表面(17)の被検領域の画像がカメラ(7)によって撮像され、該ウエハ表面(17)の被検領域が得られた画像に基づいて検査される方法において、前記ウエハ表面(17)の被検領域は、テレセントリックに照明されることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01N 21/956 , H01L 21/027

FI (2件)：

G01N21/956 A , H01L21/30 502V

Fターム (16件)：

2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051AB20 , 2G051AC21 , 2G051BA01 , 2G051BB03 , 2G051BB05 , 2G051BB09 , 2G051BB17 , 2G051BC05 , 2G051CA04 , 2G051CB05 , 2G051CB06 , 2G051DA07 , 2G051DA08

引用特許：

出願人引用 (2件)

US-6,292,260 B1
US-5,777,729

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