特許

J-GLOBAL ID：200903049381441991

塗布膜形成装置

発明者： 堀川 順一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-032849
公開番号（公開出願番号）：特開2004-247359
出願日： 2003年02月10日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：

【課題】塗布膜形成装置は、ウエット成膜における塗布有効領域の拡大を目的とする。【解決手段】塗布膜形成装置は、塗布ヘッドに形成されたスリット状の開口部から塗布基板に塗布液を吐出するとともに、スリット状開口部の長手方向に直行する方向に相対移動させて塗布を行う塗布部と、塗布基板を装着するトレイ部と塗布基板を覆い包む蓋部とで構成される塗布基板搬送チャンバーと、そのチャンバー内の雰囲気に流れを起こす気流発生装置とを備えた事を特徴としている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

塗布ヘッドに形成されたスリット状の開口部から塗布基板に塗布液を吐出するとともに、該塗布ヘッドと該塗布基板を塗布ヘッドのスリット状の開口部の長手方向に直交する方向に相対移動させて塗布を行なう塗布部と、該塗布基板に塗布された塗布膜を乾燥固化させる乾燥部とを備える塗布膜形成装置において、 該塗布基板を装着するトレイ部と該塗布基板を覆い包む蓋部とにより塗布基板搬送チャンバーを構成し、該塗布基板搬送チャンバーは、該塗布基板搬送チャンバー内に気流を発生させる気流発生装置を備えていることを特徴とする塗布膜形成装置。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  B05C5/02 ,  B05C9/12 ,  B05C15/00

FI (4件)：

H01L21/30 564Z ,  B05C5/02 ,  B05C9/12 ,  B05C15/00

Fターム (21件)：

2H025AB13 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041CA02 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042AB00 ,  4F042BA04 ,  4F042BA11 ,  4F042DE02 ,  4F042DE09 ,  4F042DF05 ,  4F042DF15 ,  5F046JA02 ,  5F046JA27