特許
J-GLOBAL ID：200903049385377813
単結晶引上装置及び高純度黒鉛材料
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058267
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310492
出願日： 1987年07月13日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】 耐熱性、耐熱衝撃性、機械的特性、低蒸気圧性、化学的安定性、低アウトガス性等を満足する黒鉛材料及びその製法を開発し、これを単結晶引上装置の部材として使用する。【解決手段】 全部において全灰分が5ppm以下あるとともに、深層部の全灰分が1ppm以下に高純度化された高純度黒鉛材料を単結晶引上装置の部材として用いることによって解決される。
請求項（抜粋）：
単結晶引上装置に於いて、黒鉛ルツボ、黒鉛ヒーター及び黒鉛保温筒の少なくとも1種が、その全部において全灰分が5ppm以下あるとともに、深層部の全灰分が1ppm以下に高純度化された高純度黒鉛材料から成ることを特徴とする単結晶引上装置。
IPC (2件)：
C30B 15/10
, C30B 29/06 502
C30B 15/10
, C30B 29/06 502 B
