特許
J-GLOBAL ID：200903049396726950
加速度検出方法および加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-223565
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045377
出願日： 1991年08月09日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 Si基板に環状ダイヤフラムを形成し、この環状ダイヤフラムの中心部に重錘体9を取付け、これら環状ダイヤフラムと重錘体との間に静電容量部を形成し、加速度をこの静電容量部の静電容量の変化として取り出すことができるようにする。【構成】 センサに加速度が加わると、重錘体20に外力が作用することになる。この外力は作用部11に伝達され、可撓部12に機械的変形が生じる。これによって、X軸方向及びY軸方向の半導体ペレット固定部に取付けた電極と重錘体20の下面に取付けた電極との間の距離(ギャップ)が変化し、両電極間の静電容量が変化する。両電極間の距離の変化量ΔdX を各静電容量CX1 ,CX2 によって生じる周波数fX1,fX2の差から求める。そして、予め求めておいた電極間の距離(ギャップ)の変化量ΔdX と加速度とのグラフにより、その時の加速度を求める。
請求項（抜粋）：
固定部と加速度によって移動する重錘体とにより静電容量部を形成し、前記静電容量部は固定部と加速度によって移動する重錘体と間の二つ以上の異なる位置に配置し、前記それぞれの静電容量部の変化量を発信回路によって周波数の変化に置き換え、各静電容量部の変化に対応した周波数に基づいて静電容量部の電極の移動量を演算し、この移動量から加速度を検出するようにした加速度検出方法
引用特許：
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