リニア電磁アクチュエータを具備したXY駆動装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：羽切正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-051421
公開番号（公開出願番号）：特開平7-238927
出願日： 1994年02月23日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目的】薄型であり、しかも、作動の高精度化及び高速化をも達成したXY駆動装置を提供すること。【構成】偏平にして高速作動を行うリニア電磁アクチュエータを駆動源として用いることによって上記の効果を得ている。また、該リニア電磁アクチュエータを装置の両側に配置し、両側間の作動ずれを防止して高精度な位置決めを達成している。

請求項（抜粋）：

一対の相対移動部材と、該相対移動部材双方を二次元的に相対移動自在に案内する案内手段と、該相対移動部材各々を相対駆動する駆動手段とを備え、前記案内手段は、1本以上を一組として複数組が前記相対移動部材各々のいずれか一方に互いに平行に固着された第1のトラックレールと、1本以上を一組として複数組が該第1のトラックレールと交差するように互いに平行に配置されかつ前記一方に対する他方の相対移動部材に固着された第2のトラックレールと、前記第1のトラックレール及び第2のトラックレールの相互交差部間に配設されて該第1のトラックレール及び第2のトラックレールに対して相対運動自在な複数の摺動台とを有し、前記駆動手段は、前記第1のトラックレール及び第2のトラックレールの組毎に個別に対応して設けられた複数のリニア電磁アクチュエータからなることを特徴とするXY駆動装置。

IPC (4件)：

F16C 29/06 , B23Q 1/62 , B23Q 5/28 , H02K 41/02

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平1-301033
特開平2-116442
特開平1-301033

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