特許
J-GLOBAL ID：200903049400186868
高さ測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1998002160
公開番号（公開出願番号）：WO1998-051993
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1998年11月19日
要約：
【要約】被検体の表面を照明するための照明光学系と、被検体で反射された全光束の光軸を挟んで対称に配置された一対の光軸を有し、前記光束の一部を各光軸に沿って収束させる一対の結像光学系と、各結像光学系の収束面に配置され、被検体の高さに応じて位置が変化する光スポットを検出する一対の光検出光学系と、この一対の光検出光学系からの光強度信号に基いてスポット位置信号を求め、このスポット位置信号から被検体表面の高さを求める高さ演算手段とを有することを特徴とする高さ測定装置。
請求項（抜粋）：
被検体の表面を順次照明する照明光学系と、 被検体で反射された全光束の光軸から一定距離離れた光軸を有し、前記光束の一部をこの光軸に沿って収束させる結像光学系と、 前記結像光学系の収束面に配置され、被検体の高さに応じて位置が変化する光スポットを検出する光位置検出手段と、 この光位置検出手段からの光強度信号に基いてスポット位置信号を求め、このスポット位置信号から被検体表面の高さを求める高さ演算手段と を有することを特徴とする高さ測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/02
, G02B 7/11
, H01L 21/52
, H01L 23/12
