光学式変位測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-187842
公開番号（公開出願番号）：特開2000-018917
出願日： 1998年07月02日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】高い分解能で位置検出が可能な光学式変位測定装置を提供する。【解決手段】本発明では、回折格子1の格子面に可干渉光Laが結像されているとともに受光手段3の受光面に回折光Lbが結像されている。第2の結像手段5の開口範囲内を通過する回折光Lbの光路長は、全て等しい。従って、回折光Lbの光軸がずれた場合であっても受光手段3の受光面の結像位置は変化せず、光路長に変化が生じない。本発明では、光路長が変化しない2つの回折光Lbを干渉させてその位相差を検出し、その位相差に基づき回折格子1の移動位置を測定する。

請求項（抜粋）：

可干渉光が照射され、この可干渉光に対して格子ベクトルに平行な方向に相対移動し、この可干渉光を回折する回折格子と、可干渉光を発光する発光手段と、上記発光手段により発光された可干渉光を2つの可干渉光に分割して、上記回折格子に対して各可干渉光を照射する照射光学系と、上記各可干渉光が上記回折格子により回折されて得られる2つの回折光を干渉させる干渉光学系と、干渉した2つの回折光を受光して干渉信号を検出する受光手段と、上記受光手段が検出した干渉信号から上記2つの回折光の位相差を求めて、上記回折格子の相対移動位置を検出する位置検出手段とを備え、上記照射光学系は、上記回折格子に対して照射される2つの可干渉光を、この回折格子の格子面に結像させる第1の結像手段を有し、上記干渉光学系は、上記受光手段が受光する干渉された2つの回折光を、この受光手段の受光面に結像させる第2の結像手段を有することを特徴とする光学式変位測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01D 5/38

FI (2件)：

G01B 11/00 G , G01D 5/38 A

Fターム (33件)：

2F003AA03 , 2F003AA13 , 2F003AA16 , 2F003AA20 , 2F003AA21 , 2F003AB02 , 2F003AD02 , 2F003AD03 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065DD03 , 2F065DD04 , 2F065DD11 , 2F065EE06 , 2F065FF01 , 2F065FF48 , 2F065FF49 , 2F065FF55 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH08 , 2F065HH14 , 2F065JJ18 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL30 , 2F065LL35 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065QQ13 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭63-309817
特開昭61-065116
特開平2-298804

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審査官引用 (4件)

特開昭63-309817
特開昭61-065116
特開平2-298804

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