特許

J-GLOBAL ID：200903049410882404

ポジ型感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  山中 司 ,  上西 一也 ,  小久保 忠嘉
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-305929
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130670
出願日： 1992年10月21日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】 高感度、高解像力、及び良好なプロフアイルを持ち、経時による析出のない、3成分系化学増幅型のポジ型感光性組成物を提供する。【構成】(a)ノボラツク樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3,000以下の単一構造から成る低分子化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、又は、(ii)第3級アルキルエステル基を少なくとも3個有し、該エステル基間の距離が最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(a)ノボラツク樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)第3級アルキルエステル基を有し、アルカリ水溶液中での溶解度が酸の作用により増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解抑制化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)第3級アルキルエステル基を少なくとも2個有し、該エステル基間の距離が、最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、及び(ii)第3級アルキルエステル基を少なくとも3個有し、該エステル基間の距離が最も離れた位置において、エステル基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、からなる群から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027