特許
J-GLOBAL ID:200903049412848750

高純度水の製造装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 本多 小平 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-119000
公開番号(公開出願番号):特開平5-309372
出願日: 1992年05月12日
公開日(公表日): 1993年11月22日
要約:
【要約】【目的】 逆浸透膜を2段に設けて2段RO法により、原水中の不純物を除去して、純水や超純水等の高純度水を製造する際に、処理水中の溶存ガスや揮発性の不純物を効率よく除去できる装置を提供する。【構成】 2段に設けたRO膜装置の透過水を、加熱装置によって加熱した後、真空脱気装置に通す装置を設ける。この装置により、処理効率に優れ、しかも溶存ガスや揮発性の不純物を十分に除去して高品質の高純度水を得ることができる。
請求項(抜粋):
被処理水が給水される1段目逆浸透膜装置と、この1段目逆浸透膜装置を透過した一次透過水が給水される2段目逆浸透膜装置と、この2段目逆浸透膜装置を透過した二次透過水が給水される脱気装置と、この脱気装置内又は脱気装置前段の給水系に設けられて上記二次透過水を加熱する加熱手段とを備えたことを特徴とする高純度水の製造装置。
IPC (7件):
C02F 1/44 ,  B01D 61/08 ,  B01D 61/58 ,  C02F 1/20 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/58 ,  C02F 9/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開平1-171689
  • 特開平2-222763
  • 特開昭61-287492
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