特許
J-GLOBAL ID：200903049414141751
光結合器の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-230066
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064675
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 生産性に優れており且つ安定した動作特性を有する光結合器を製造できる光結合器の製造方法を提供する【解決手段】 接着面にプラズマ処理を施した誘電体ブロックを、同じく表面にプラズマ処理を施した光導波層上のギャップ層に、光硬化型接着剤によって接着する。接着剤は、予めパターニングされたフォトレジスト層によって隔てられる光導波路層と誘電体ブロック層との間隙に含浸されて、その後に硬化される。接着剤の含浸時には、金属製のプローブによって誘電体ブロックの上面を押さえて固定する。誘電体ブロックの上面は光学研磨されており、接着剤の含浸の様子が観察できる。その後に、ダイシング処理を施し、フォトレジスト層を除去して、個々の素子チップを得る。
請求項（抜粋）：
基板上に光導波路層及びギャップ層を設ける工程と、該ギャップ層の上に設けられたフォトレジスト層を所定のパターンにパターニングする工程と、該所定のパターン内に注入された光硬化型接着剤によって、誘電体ブロックを接着する工程と、該基板をダイシングして個々の素子チップに分離する工程と、該個々の素子チップから該フォトレジスト層を除去する工程と、を包含する光結合器の製造方法であって、該フォトレジスト層の該所定のパターンはT字状パターンであり、該T字状パターンのT字の横方向の長さが該誘電体ブロックの接着面の横方向の長さよりも長く、該T字の縦方向の長さが該誘電体ブロックの該接着面の縦方向の長さよりも長く、該T字を構成する横線の太さが該誘電体ブロックの縦方向の長さよりも細く、該T字を構成する縦線の太さが該誘電体ブロックの横方向の長さよりも細く、該T字の該縦線の先端に設けられた接着剤注入部から該光硬化型接着剤を注入する、光結合器の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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