特許
J-GLOBAL ID：200903049416026283
薄膜磁気ヘッド用スライダ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-302052
公開番号（公開出願番号）：特開平6-150276
出願日： 1992年11月12日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】スライダブロック間の隙間に樹脂を充填することにより、種々のマスク材を用い、精度良くマスク形成を行ない、優れたレール加工精度を達成し、同時にスライダへの損傷をなくすることを目的とする。【構成】空気ベアリング面を呈するレールを有する型の磁気ヘッドスライダの製造方法であってスライダブロックを並べる工程と、樹脂を充填、硬化する工程と、エッチングマスク材を形成し、パターニングする工程と、スライダ面をエッチングする工程と、最後にマスク材と充填樹脂を除去する工程よりなる。【効果】従来の機械加工では不可能であった複雑なレール形状を有する薄膜磁気ヘッド用レールを高精度、高清浄かつ安価に製造することができる。この結果、高記録密度化に不可欠な薄膜磁気ヘッドの低浮上化が可能となり、高記録密度を達成する磁気ディスク装置が実現できる。
請求項（抜粋）：
空気ベアリング面を呈するレールを有する型の薄膜磁気ヘッド用スライダを製造する方法であって、素子形成されたウエハからブロック状に切り出されたスライダブロックを複数個並べる工程と、ブロック間の隙間に樹脂を充填、硬化し、スライダブロックの被加工面を含む平坦な面を形成する工程と、その面をドライエッチングにより所望の形状に加工する工程とからなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
IPC (2件)：
G11B 5/60
, G11B 21/21 101
