特許
J-GLOBAL ID：200903049422296187
垂直型プローブカードおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225724
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050982
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：
【要約】【課題】 直線状の探針を屈曲するように配設された垂直型プローブカードおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 図3の垂直型プローブカードは、半導体チップと接触して導通する複数の探針103と、複数の探針103を挿通させるための複数の貫通孔を有する上部プレート101と、上部プレート101の下方に平行して設けられ、上部プレート101の有する複数の貫通孔に対応する複数の貫通孔を有する下部プレート102と、上部プレート101に設けられた貫通孔と対応する下部プレート102に設けられた貫通孔との中心位置が、水平方向へ所定の距離だけずれるように調節する水平位置調整部104とを備える。そして、各探針103は、当該複数の貫通孔にそれぞれ挿通される。そして、各探針103は、上部プレート101に設けられた各貫通孔内で固定され、下部プレート102に設けられた各貫通孔によって、摺動自在に支持されている。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハ等のテストに使用される垂直型プローブカードであって、直線状の形状と弾性とを有し、当該プローブカードが形成する平面に対して垂直方向に、所定の間隔をあけて配設される複数の探針と、前記複数の探針がほぼ同一の方向へほぼ同一の形状で屈曲するように、当該複数の探針を支持する支持部材とを備える、垂直型プローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
2G011AA02
, 2G011AA17
, 2G011AB01
, 2G011AB06
, 2G011AB07
, 2G011AE03
, 2G011AF07
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106DD04
, 4M106DD06
, 4M106DD10
