特許

J-GLOBAL ID：200903049425654769

露光装置および露光方法

発明者： 窪田 泰仁 ,  白戸 章仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-121211
公開番号（公開出願番号）：特開2002-258489
出願日： 2001年04月19日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 基板上で一部を重複して露光してもデバイスの品質低下を防止する。【解決手段】 複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータ14を射出した露光光によりマスクを照明し、マスクのパターンの一部を基板上で重複露光する。オプティカルインテグレータ14のマスクとの共役面に配置され、重複露光部分の照度を調節する照度調節装置PFと、照度調節装置PFを共役面内で移動する移動装置51、52とを備える。

請求項（抜粋）：

複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータを射出した露光光によりマスクを照明し、該マスクのパターンの一部を基板上で重複露光する露光装置において、前記オプティカルインテグレータの前記マスクとの共役面に配置され、前記重複露光部分の照度を調節する照度調節装置と、該照度調節装置を前記共役面内で移動する移動装置とを備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 7/22 Z ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 C ,  H01L 21/30 514 A

Fターム (24件)：

2H097AB09 ,  2H097BB00 ,  2H097BB01 ,  2H097CA06 ,  2H097CA07 ,  2H097CA08 ,  2H097CA12 ,  2H097GB00 ,  2H097GB02 ,  2H097LA12 ,  5F046AA11 ,  5F046BA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB06 ,  5F046CB08 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC15 ,  5F046CC16 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02