特許
J-GLOBAL ID:200903049425962706
研磨材料および研磨用物品
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
谷 義一 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-312279
公開番号(公開出願番号):特開平10-158633
出願日: 1996年11月22日
公開日(公表日): 1998年06月16日
要約:
【要約】【課題】 使用寿命がより長く、美しい表面仕上げが得られる研磨用物品を提供すること。【解決手段】 研磨用物品は、研磨材料の全重量に基づいて、3,3′,4,4′-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、ジアミン成分の中少なくとも60%がメタフェニレンジアミンである芳香族ジアミンとから製造されたポリイミドを少なくとも45重量%、ダイヤモンドパウダーを2〜50重量%、および充填粒子を0〜53重量%含有する研磨材料から成形された。
請求項(抜粋):
3,3′,4,4′-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物と、ジアミン成分の中少なくとも60%がメタフェニレンジアミンである芳香族ジアミンとから製造されたポリイミド、およびダイヤモンドパウダーを含有することを特徴とする研磨材料。
IPC (4件):
C09K 3/14 550
, C09K 3/14
, B24D 3/28
, C08J 5/14 CFG
FI (4件):
C09K 3/14 550 L
, C09K 3/14 550 F
, B24D 3/28
, C08J 5/14 CFG
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