特許
J-GLOBAL ID：200903049427523971
多点ファラデー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353961
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177074
出願日： 1996年12月17日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 一つの多点ファラデーを用いて、少なくとも従来の二つの多点ファラデーを用いる場合と同様の測定を行うことができる多点ファラデー装置を提供する。【解決手段】 この多点ファラデー装置30は、X方向に走査されるイオンビーム2(荷電粒子ビーム)をそれぞれ受ける複数のファラデーカップ34を当該イオンビーム2の走査方向Xに沿って並べて成る多点ファラデー32と、この多点ファラデー32をイオンビーム2の進行方向Zに沿って矢印Bに示すように前後に移動させる駆動装置40とを備えている。
請求項（抜粋）：
走査される荷電粒子ビームの測定に用いられる装置であって、前記荷電粒子ビームをそれぞれ受ける複数のファラデーカップを当該荷電粒子ビームの走査方向に沿って並べて成る多点ファラデーと、この多点ファラデーを前記荷電粒子ビームの進行方向に沿って前後に移動させる駆動装置とを備えることを特徴とする多点ファラデー装置。
IPC (4件)：
G01T 1/29
, H01J 37/04
, H01J 37/317
, H01L 21/265
G01T 1/29 A
, H01J 37/04 A
, H01J 37/317 C
, H01L 21/265 T
