特許

J-GLOBAL ID：200903049429564691

洗浄液循環利用システム

発明者： 地蔵 眞一 ,  池田 健一
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 矢野 正行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-072729
公開番号（公開出願番号）：特開2001-259662
出願日： 2000年03月15日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：

【要約】【課題】取り扱いが容易で耐久性に優れた洗浄液循環利用システムを提供する。【解決手段】過酸化水素やオゾンなどの活性酸素源を含有する洗浄液によって被洗浄物を洗浄し、その排液を有機高分子からなる繊維と、その繊維の表面に担持された金属微粒子からなる触媒とを備えた金属触媒付着担体に通過させた後、分離膜に供給し、その透過液を洗浄液として再利用することを特徴とする洗浄液循環利用システム。

請求項（抜粋）：

過酸化水素やオゾンなどの活性酸素源を含有する洗浄液によって被洗浄物を洗浄し、その排液を有機高分子からなる繊維と、その繊維の表面に担持された金属微粒子からなる触媒とを備えた金属触媒付着担体に通過させた後、分離膜に供給し、その透過液を洗浄液として再利用することを特徴とする洗浄液循環利用システム。

IPC (7件)：

C02F 1/70 ,  B01D 61/04 ,  B01J 23/755 ,  B01J 35/06 ,  B08B 3/08 ,  C02F 1/44 ,  H01L 21/304 648

FI (7件)：

C02F 1/70 Z ,  B01D 61/04 ,  B01J 35/06 M ,  B08B 3/08 Z ,  C02F 1/44 K ,  H01L 21/304 648 F ,  B01J 23/74 321 M

Fターム (34件)：

3B201AA03 ,  3B201BB89 ,  3B201BB92 ,  3B201BB98 ,  3B201CD22 ,  4D006GA03 ,  4D006KA02 ,  4D006KB30 ,  4D006LA10 ,  4D006PB08 ,  4D006PC01 ,  4D050AA08 ,  4D050AA13 ,  4D050AB02 ,  4D050AB07 ,  4D050AB32 ,  4D050AB33 ,  4D050BC06 ,  4D050BD02 ,  4D050BD06 ,  4D050BD08 ,  4D050CA09 ,  4G069AA03 ,  4G069BA22A ,  4G069BA22B ,  4G069BB02A ,  4G069BB02B ,  4G069BC68B ,  4G069CA01 ,  4G069CA10 ,  4G069CA16 ,  4G069DA06 ,  4G069EA03X ,  4G069EA03Y