特許

J-GLOBAL ID：200903049432544316

基板保持装置

発明者： 梅木 昭範 ,  津和田 裕幸
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230078
公開番号（公開出願番号）：特開平6-079678
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】 異なる大きさの基板にも容易に対応することができる基板保持装置を提供する。【構成】 ガラス基板Bの短辺X,Y間および長辺V,W間の長さに合わせて、ストッパピン16,32を位置合わせする。エアアクチュエータ15を駆動させて、スライドガイド11により第1の保持アーム18をガラス基板B側に移動させる。第1の保持アーム18が移動する際にスライドガイド11のラックギア13でピニオンギア14を回転させ、ピニオンギア14の回転によりラックギア12を移動させ、第1の保持アーム17をガラス基板B方向に移動させる。保持体19,19間に、ガラス基板Bの短辺部X,Yが保持される。同様に、第2の保持アーム36とともに、第2の保持アーム35をガラス基板B方向に移動させる。第2の保持アーム35,36間に、ガラス基板Bの長辺部V,Wが保持される。

請求項（抜粋）：

基板の対向する部分とこの部分と交差する方向の対向する部分とをそれぞれ挟持して搬送する基板保持装置において、対向する間隙を狭くしつつ前記一対の部分を挟持する一対の第1の保持アームと、対向する間隙を狭くしつつ前記第1の保持アームと交差する方向の一対の部分を挟持する第2の保持アームとを具備したことを特徴とする基板保持装置。

IPC (5件)：

B25J 15/08 ,  B65G 47/88 ,  B65G 47/90 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500