ウィーンフィルタ及び直接写像型反射電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044653
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233062
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 2次と3次の開口収差を同時に補正する事ができるウイーンフィルタを提供すること。【解決手段】 1〜8は電極と磁極を兼ねた電磁極であり、それらは同じ形状である。これらの電磁極1〜8は、電気絶縁体11〜18を介してそれぞれ筒状体9の内側に45度の等間隔で取り付けられており、電磁極1〜8には、コイルC1〜C8がそれぞれ巻かれている。図示していないが、各コイルは電流源に接続されており、また、各電磁極は電圧源に接続されている。このような8極の電磁極から成るウイーンフィルタにおいては、各電磁極に独立の電圧をかけることができ、また、各電磁極の励磁を独立に制御することができる。

請求項（抜粋）：

電極と磁極を兼ねた電磁極を少なくとも8極有するウイーンフィルタにおいて、2次及び3次の収差の影響を小さくするために、前記各極にかかる電圧と各極のコイルに流れる電流をそれぞれ制御する制御手段を備えていることを特徴とするウイーンフィルタ。

IPC (3件)：

H01J 49/48 , H01J 37/147 , H01J 37/29

FI (3件)：

H01J 49/48 , H01J 37/147 Z , H01J 37/29

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