異物検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋本正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-320389
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167458
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成でかつ安定して確実に異物を検査できる。【構成】レチクル6上を照明系2,3で斜方より照射し、回路パターン80に発生する回折光を対物レンズ41で集光すると0°の角度パターンからの回折光が直線状の空間フィルタ44の遮光部で遮光され、45°及び90°の角度パターンからの回折光(b),(c)が対物レンズ41に入射せず、検出器51に検出されることがない。異物70からの散乱光は方向性がないためフーリエ変換面上で全面に広がるが、散乱光が空間フィルタ44の透過部を通り、検出器51に結像するので異物70を回路パターン80と弁別して検出することができる。

請求項（抜粋）：

周期的な回路パターンを有する透明または半透明な試料上に付着した異物を検出する異物検査装置であって、前記試料を該試料面と平行な同一平面上で互いに直交する方向と該平面に対して垂直な方向とに夫々選択的に移動する検査ステージと、試料の表面の所望位置を斜方から照射する照明系と、試料の照明領域の垂直上方位置におけるフーリエ変換面上に夫々設けられ、かつ回路パターンにおける照明系の照射方向と直交する方向の特定角度のパターンから発生する一次以上の回折光を局部的に遮光すると共に、他の部分が回路パターンから発生する散乱光を透過させる書換可能な空間フィルタを有する検出光学系と、試料からの散乱光を上記検出光学系を介して検出する検出器と、検出器からの検出信号を2値化し、試料上の異物からの散乱光を弁別する判定手段とを備えたことを特徴とする異物検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 , G03F 1/08 , H01L 21/027 , H01L 21/66

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-238255
特開平4-002950
特開平2-016438

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審査官引用 (2件)

特開平4-238255
特開平4-002950

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