特許
J-GLOBAL ID：200903049443649543
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-120320
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312833
出願日： 1992年05月13日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 プローブカードを用いた特性検査の精度を向上する。プローブカードの作成を容易にする。【構成】 固定電位に接続される電源用プローブ1Aと、信号用プローブ1Bとが混在するプローブカード4において、前記電源用プローブ1Aの太さを、前記信号用プローブ1Bの太さより太くする。【効果】 電源用プローブ1Aを太くしたことにより、電源用プローブ1Aのインピーダンス及びインダクタンスを低減できる。電源用プローブ1Aを太くしたことより、作成を容易にできる。
請求項（抜粋）：
固定電位に接続される電源用プローブと、信号用プローブとが混在するプローブカードにおいて、前記電源用プローブの太さを、前記信号用プローブの太さより太くしたことを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
