特許

J-GLOBAL ID：200903049449102252

感光性樹脂組成物

発明者： 高木 良博 ,  長田 崇一郎
出願人/特許権者： 富士フイルムオーリン株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143137
公開番号（公開出願番号）：特開平11-338142
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】高解像度で、被絶縁物との密着性が優れた無機構造体を提供し得る感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】エポキシエステルモノマーを含むフォトレジストおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を所望のパターンに焼成してなることを特徴とする無機構造体

請求項（抜粋）：

エポキシエステルモノマーを含むフォトレジストおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/075 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  H01J 17/04 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/075 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  H01J 17/04 ,  H01L 21/30 502 R