特許
J-GLOBAL ID：200903049456769270
パッケ-ジの気密封止方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-220822
公開番号（公開出願番号）：特開平9-064221
出願日： 1995年08月29日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 高い真空度を保ち、気密性の評価が行えるパッケ-ジを簡便に作製する技術を提供する。【解決手段】 パッケ-ジ部材に貫通孔を開け、真空中でこの貫通孔の上に薄板を置き、貫通孔の周囲の薄板とパッケ-ジ部材を密着させてその密着領域の外周部で薄板とパッケ-ジ部材を接合してパッケ-ジを封止する。
請求項（抜粋）：
パッケ-ジに貫通孔を設け、該貫通孔を通してパッケ-ジ内を真空としたまま貫通孔を塞ぐ薄板をパッケ-ジ表面に乗せ、薄板とパッケ-ジ表面を密着させて貫通孔を中心に密着領域を形成し、密着領域の外側で貫通孔の周囲の薄板とパッケ-ジ表面を接合する事を特徴とするパッケ-ジの気密封止方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 23/02 G
, H03H 9/02 A
