特許
J-GLOBAL ID：200903049468179606
微細加工表面処理剤
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾関 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-041894
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232107
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】フッ化水素酸に界面活性剤を含有せしめた微細加工表面処理について、更に濡れ性その他各種特性を向上せしめること。【構成】フッ化水素酸に、HLB値が7〜17の炭化水素系非イオン界面活性剤を含有せしめたこと。
請求項（抜粋）：
フッ化水素酸に、HLB値が7〜17の炭化水素系非イオン界面活性剤を含有せしめたことを特徴とする濡れ性に優れた微細加工表面処理剤。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, C09K 13/00
, H01L 21/308
