特許
J-GLOBAL ID：200903049469071760
基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-365656
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186158
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 基板載置部とカバーとで囲まれ密閉された処理空間で基板の表面へその側方の全周方向から処理ガスを供給して基板に対し処理を施す場合に、基板表面に処理ガスの流れによる模様むらが生じるのを避けるため、排気を止めた状態で処理ガスを処理空間へ供給して、処理空間の圧力が高くなり過ぎることがあっても、加圧された処理ガスが外部へ漏れ出すことを防止できる装置を提供する。【解決手段】 基板載置部10の上面と中央部に排気口24を有するカバー12とで密閉された処理空間14が形成され、基板載置部10上の基板の側方の全周方向から処理空間へ処理ガスが供給される装置において、排気口に連通接続された排気管26を開閉弁28より上流側で分岐させ、分岐管30に、常時は閉塞し処理空間の圧力が所定圧力を超えた時に開く安全弁32を設けた。
請求項（抜粋）：
基板に対して所定の処理を施す基板処理装置であって、上面に基板を載置する基板載置部と、中央部に処理ガスを排気するための排気口を有し、前記基板載置部の上面に載置された基板の上方および側方を覆うように配置され、前記基板載置部の上面との間に密閉された処理空間を形成するカバーと、前記基板載置部の上面に載置された基板の側方から前記処理空間へ処理ガスを供給するガス供給機構と、前記カバーの排気口と連通された排気管と、前記排気管に設けられた開閉弁と、前記カバーの排気口と前記開閉弁との間の前記排気管に接続した分岐管と、前記分岐管に設けられ、常時は閉塞し前記処理空間の圧力が所定の圧力を超えたときに開く安全弁と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B05C 3/109
, H01L 21/304 645
H01L 21/30 563
, B05C 3/109
, H01L 21/304 645 C
