特許
J-GLOBAL ID：200903049474627190
電解活性水処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056108
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256260
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：
【要約】【目的】電解活性水の半導体プロセスへの適用を実現するにあたり、電解活性水の長寿命化やリサイクルを実現するウエット処理装置を提供する。【構成】水あるいは支持電解質を含む水っ応益の電気分解部、電気分解液の貯液部、ウエット処理部を少なくとも有する本発明のウエット処理装置は、貯液部の構造として少なくとも液の冷却機構、内面が鏡面である、フッ素樹脂ないし内面フッ素加工、上部に気体を充満させる機構、貯液部外から光が液に当たらない構造等を用いることで電解活性水の長寿命化を実現した。また、電解活性水の特性に見合った加熱機構を採用することで、処理効率の向上、および長寿命化を実現した。さらには、陽極水と陰極水のそれぞれに対して再生部を設けるとともに、電解活性水の性質に見合った再生方法を用い、電解活性水の効率的再生とリサイクルを実現した。
請求項（抜粋）：
電極間に電圧を印加して水あるいは電解質を含む水溶液を電気分解することにより電解活性水を得る電気分解部と、前記電解活性水を貯液する貯液部と、前記電解活性水を用いてウェット処理を行う処理部とを有する電解活性水処理装置おいて、前記貯液部が温調機構を有することを特徴とする電解活性水処理装置。
IPC (3件)：
C02F 1/46
, H01L 21/304 341
, H01L 21/306
