特許

J-GLOBAL ID：200903049478719196

基板処理装置のメインバルブ機構

発明者： 池崎 太郎 ,  石原 雅仁
出願人/特許権者： アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-202483
公開番号（公開出願番号）：特開平11-030352
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 高真空排気ポンプと処理チャンバの間に設けたメインバルブで開閉度を全開から全閉まで連続的に設定可能にする。【解決手段】 処理チャンバ11と排気ポンプ14の間に配置されたメインバルブ弁体15を開閉させる。メインバルブ弁体の開閉動作を行うシリンダ部21b と、メインバルブ弁体の開閉動作を停止させるロック部21a と、シリンダ部のシリンダ位置を検出する位置検出部22と、シリンダ部とロック部に対して選択的にエアーを供給するエアーバルブ機構23と、エアーバルブ機構のバルブ動作を制御するエアーバルブコントローラ24とからなる。エアーバルブ機構は、中間位置にメインバルブ弁体を停止させる場合、全開または全閉への動作で、位置検出部が中間位置を検出したことを条件にコントローラがエアーバルブ機構の動作をシリンダ部からロック部に切り替えメインバルブ弁体を停止させる。

請求項（抜粋）：

処理チャンバと排気ポンプの間に配置されたメインバルブ弁体を開閉させる基板処理装置のメインバルブ機構において、前記メインバルブ弁体の開閉動作を行うシリンダ部と、前記メインバルブ弁体の開閉動作を停止させるロック部と、前記シリンダ部のシリンダ位置を検出する位置検出部と、制御に基づき前記シリンダ部と前記ロック部に対して選択的にエアーを供給するエアーバルブ機構と、前記エアーバルブ機構のバルブ動作を制御する制御部を備え、前記エアーバルブ機構は前記シリンダ部にエアーを供給して全開位置または全閉位置に前記メインバルブ弁体を動作させると共に、中間位置に前記メインバルブ弁体を停止させる場合に、前記エアーバルブ機構による全開位置または全閉位置への前記シリンダ部の動作で、前記位置検出部が前記中間位置を検出したことを条件に前記制御部が前記エアーバルブ機構の動作を前記シリンダ部から前記ロック部に切り替え、前記メインバルブ弁体を停止させることを特徴とする基板処理装置のメインバルブ機構。