特許
J-GLOBAL ID：200903049479958410
軟X線用撮像素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-164897
公開番号（公開出願番号）：特開平6-005831
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 高感度,高分解能を備え且つ簡便に単色光に近づけることができる軟X線用撮像素子を提供することを目的とする。【構成】 画素電極上に光電変換層12を付設し、該光電変換層12上に表面電極層13を設けた積層型固体撮像素子において、表面電極層13の形成物質が互いに異なる少なくとも二種類の画素A,Bにより構成されている。
請求項（抜粋）：
画素電極上に光電変換層を付設し、該光電変換層上に表面電極層を設けた積層型固体撮像素子において、上記表面電極層の形成物質が互いに異なる少なくとも二種類の画素により構成されている軟X線用撮像素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 K
, H01L 31/00 A
