特許

J-GLOBAL ID：200903049482810734

粒子光学的装置の動作方法

発明者： クレイン,マルセリヌス ペートルス カロルス ミシャエル ,  ヘンストラ,アレクサンデル
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-525387
公開番号（公開出願番号）：特表2001-510624
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
要約：

【要約】電子光学的な、軸対象のレンズは必然的に通常分解能の限界を決定する球面収差及び色収差を示す。そのようなレンズ収差は軸対象な場による補償によっては除去されえない。それでもなお分解能を強調するためにはウィーン型補正装置によって上記レンズ収差を減少させることが既に提案されている。そのような形状は製造精度、機械的電気的安定性及び様々な要素の相互のアラインメントに関して非常に厳しい要件を満たさねばならない。従って、状況が変化した場合にそのような補正装置によって電子光学的装置の再調整を行うことは非常に困難である。本発明によれは補正ユニットと補正されるべきダブレットとの組み合わせが提供される。補正されるべき対象をダブレット(5)として構成し、ダブレット(5)の2つのレンズ(6及び8)を個々に制御することにより、補正ユニット(28)の設定は不変のままに維持され、電子光学的装置の動作中に自由物距離及び電子電圧を変化させることが可能である。

請求項（抜粋）：

装置中の対象(14)を照射するために装置の光学軸(4)に沿って進行する荷電された粒子のビームを放出し、加速電圧によって上記荷電された粒子のビームを加速させる加速ユニットを含む粒子源と、 少なくとも2つの粒子レンズの組み合わせ(6,8)によって形成され、上記荷電された粒子のビームを合焦させる合焦レンズユニット(5)と、 合焦レンズユニット(5)の色収差及び/又は球面収差を補正する補正装置(28)とを含む粒子光学的装置の動作方法であって、 合焦状況が変化するにつれ、ビームの合焦は合焦レンズュニット(5)の少なくとも2つの電磁レンズ(6,8)の励起を変化させることによって適合され、Ctを合焦レンズユニット(5)の色収差の係数とし、Kt2を合焦レンズユニット(5)の強度の平方とし、√(UC/Ufinal)を補正ユニット(28)中の電子の電圧に対する対象(14)上の電子の電圧の比の根であるとすると、はこの適合に対して一定に維持されることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01J 37/153 B ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/30 531 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-100251