特許

J-GLOBAL ID：200903049484239333

球面モータを用いた首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長装置および該装置を用いた座標測定方法

発明者： 高辻 利之 ,  矢野 智昭 ,  大澤 尊光 ,  鈴木 健生 ,  本村 洋一
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  株式会社安川電機
代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-043117
公開番号（公開出願番号）：特開2004-251785
出願日： 2003年02月20日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】球面モータで駆動できる首振り運動光てこを有するレーザ干渉測長装置を提供する。【解決手段】干渉測長光学系における物体光の照射方向を変化させる機構に首振り運動光てこを用いた光線追尾式レーザ干渉測長装置において、球面モータ1により駆動することにより照射角範囲を拡大できる首振り機構3を備えたものである。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

干渉測長光学系における物体光の照射方向を変化させる機構に首振り運動光てこを用いた光線追尾式レーザ干渉測長装置において、 球面モータにより駆動することにより照射角範囲を拡大する首振り機構を備えたことを特徴とする球面モータを用いた首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長装置。

IPC (3件)：

G01B11/00 ,  G01C3/06 ,  G01C15/00

FI (4件)：

G01B11/00 G ,  G01C3/06 Z ,  G01C15/00 101 ,  G01C15/00 103E

Fターム (33件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA19 ,  2F065AA31 ,  2F065BB15 ,  2F065BB29 ,  2F065EE00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF28 ,  2F065FF43 ,  2F065FF51 ,  2F065FF69 ,  2F065GG00 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL02 ,  2F065LL16 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065NN20 ,  2F065PP05 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ51 ,  2F112AD05 ,  2F112AD10 ,  2F112CA12 ,  2F112DA09 ,  2F112DA10 ,  2F112DA25 ,  2F112FA03 ,  2F112FA07

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-289812   出願人：経済産業省産業技術総合研究所長
• 検査指示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-333267   出願人：オムロン株式会社