特許

J-GLOBAL ID：200903049494753400

静電フィルムアクチュエータ

発明者： 新倉 栄二 ,  小西 暢樹
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-038424
公開番号（公開出願番号）：特開平7-250487
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 固定子を構成するフィルム状絶縁材上の帯状電極のうち数相をスルーホール加工でフィルム状絶縁材の裏面に配線する際、フィルム状絶縁材上の帯状電極と裏面に設けた電極とが、十分な導通を容易に得ることが可能な静電アクチュエータを得る。【構成】 固定子1を構成するフィルム状絶縁体2に設けた帯状電極4の第3極4fを、フィルム状絶縁体2の帯状電極4を設けた面の裏面の電極14にスルーホール加工で配線する際、穴加工面に傾斜を持たせるため、スパッタリングによって穴加工内側面に設ける銅薄膜が十分積まれ、帯状電極4fと電極14とが容易に十分な導通を得られる。

請求項（抜粋）：

フィルム状絶縁材の片面に相互に絶縁され且つ所定の間隔で平行パターン状に形成された3相以上からなる複数の帯状電極を有する固定子と、この固定子の表面に配置される高抵抗体層を備えた移動子から構成され、前記複数の帯状電極それぞれに電圧を印加し、印加電圧を切り換えることによって前記移動子を前記固定子に対して相対的に搬送する静電フィルムアクチュエータにおいて、前記フィルム状絶縁材上の前記複数の帯状電極を各相ごとに引き出し配線する行程において、少なくとも1相以上をフィルム状絶縁材の裏面にスルーホール加工によって配線する際、スルーホール加工はその穴開け加工において加工面が傾斜するよう加工を施すことを特徴とする静電フィルムアクチュエータ。