光学素子支持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-354847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-156570
出願日： 2000年11月21日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】光学素子の傾きセンサが光学素子やその光束と干渉しにくい、小型の光学素子支持装置を提供する。【解決手段】ハウジング12内に回転軸11に沿った方向にS字状に延出した各バネ16により回転変形可能に支持された各ホルダ14には光学素子としてのミラー6とコイル15-1,15-2がそれぞれ取り付けられて可動部を形成し、マグネット17に対向するコイル15-1,15-2に流す電流によりミラー6の面を回転軸11の周りで傾け、入射光5に対する反射光7の方向を可変するが、そのミラー6の傾き面の検出のために、入射光5と反射光7とを含む平面の両側にLED19とPSD20とを配置して、ミラー6及びその光束と干渉しないで、傾きセンサを配置し易く、小型化に適した構造にした。

請求項（抜粋）：

光学素子と、少なくとも前記光学素子を有する可動部と、この可動部を固定部材に対して第1の軸周りに傾き可能に支持する支持手段及び駆動手段と、前記可動部の前記回転軸周りの傾きを検出するセンサを備え、第1の方向からの入射光を前記光学素子に入射させ第2の方向の出射光に偏向する光学素子支持装置において、前記センサは発光素子と受光索子を有し、前記発光素子と前記受光素子は前記入射光と出射光を含む平面の一方側と他方側にそれぞれ配置されている事を特徴とする光学素子支持装置。

IPC (6件)：

G02B 7/00 , G02B 26/08 , G02B 26/10 , G02B 26/10 104 , G11B 7/09 , H01L 31/12

FI (6件)：

G02B 7/00 D , G02B 26/08 E , G02B 26/10 F , G02B 26/10 104 A , G11B 7/09 E , H01L 31/12 E

Fターム (21件)：

2H041AA16 , 2H041AB14 , 2H041AC05 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08 , 2H043AD02 , 2H043AD11 , 2H043AD13 , 2H043AD21 , 2H045AB16 , 5D118AA01 , 5D118CD18 , 5D118CF30 , 5D118DC07 , 5D118EA02 , 5D118ED05 , 5D118FA11 , 5F089BA04 , 5F089BB01 , 5F089BC07 , 5F089BC25

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-318336
特開平4-252432
特開平4-029213

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