特許
J-GLOBAL ID:200903049497803114
導波路型受光素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
稲垣 清 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-243725
公開番号(公開出願番号):特開平9-064399
出願日: 1995年08月29日
公開日(公表日): 1997年03月07日
要約:
【要約】【課題】 広ダイナミックレンジ特性を備えた導波路型受光素子を提供する。【解決手段】 本導波路型受光素子10は、光検出部14と、光減衰部18と、光検出部と光減衰部とを電気的に分離する光透過性電気的分離部20とから構成されている。光検出部は、基板22上に、n-光ガイド層28及びi-光吸収層30と、それを挟むn-とp-の対の光閉じ込め層26、32を備え、ダブルヘテロ構造を形成している。光減衰部は、光吸収層が歪MQW層で形成されていることを除いて光検出部と同じ層構造を備え、基板の上下には吸収制御用電極16と電極40が設けられている。光検出部及び光減衰部の光吸収層及び導波路は、上述のように垂直(縦)方向の光閉じ込め構造と共にリッジ構造を形成して水平方向の閉じ込め構造を形成している。光減衰部の電極に逆方向バイアス電圧を印加することにより、光減衰部の入射光の吸収程度を制御し、光検出部へ伝搬される光の強度を制御できる。
請求項(抜粋):
第1の光吸収層と、電気信号取り出しのための第1の電極対とを少なくとも有する光検出部と、及び光検出部と光入射面との間に設けられ、第1の光吸収層と光学的に結合された第2の光吸収層と、第2の光吸収層に電圧を印加するために第1の電極対とは電気的に分離して形成された第2の電極対とを少なくとも有する光減衰部とを備えることを特徴とする導波路型受光素子。
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