特許
J-GLOBAL ID：200903049505184496
元素分析方法及び元素分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-318185
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174717
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 分析試料の物質最表面層の非破壊元素分析を可能にする。【構成】 粒子ビームを分析試料11に照射し、この分析試料11から放出される特性X線を利用して、その分析試料11の元素分析を行う元素分析方法において、粒子ビームとして陽電子ビーム発生装置20によって発生された陽電子ビームを使用し、この陽電子ビームをレンズ12及び走査コイル13を介して分析試料11に照射し、分析試料11に入射した陽電子を分析試料11中の原子の電子と対消滅させることによりこの分析試料11中の当該原子を励起状態にして前記特性X線を発生させる。
請求項（抜粋）：
粒子ビームを分析試料に照射し、この分析試料から放出される特性X線を利用して、その分析試料の元素分析を行う元素分析方法において、前記粒子ビームとして陽電子ビームを使用し、この陽電子ビームを前記分析試料に照射し、前記分析試料に入射した陽電子を該分析試料中の原子の電子と対消滅させることによりこの分析試料中の当該原子を励起状態にして前記特性X線を発生させることを特徴とする元素分析方法。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
