特許
J-GLOBAL ID:200903049513446122

金属フィルタ及びそれを用いた酸性ガスの除去方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鍬田 充生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-367698
公開番号(公開出願番号):特開2006-167688
出願日: 2004年12月20日
公開日(公表日): 2006年06月29日
要約:
【課題】被処理ガス中の腐食性酸性ガス(塩化水素、フッ化水素など)を、低い圧力損失で、効率よく除去する。【解決手段】腐食性の酸性ガスを含む被処理ガスと接触して、反応し、前記酸性ガスを除去するための金属フィルタを、ハニカム状又はフィン状に形成する。このような金属フィルタは、(i)スペーサを介して複数の金属板が積層した積層体、(ii)平板状金属板と波形状金属板とが交互に積層した積層体、又は(iii)ハニカム状金属成形体などで構成してもよい。前記金属フィルタを構成する金属は、アルミニウムなどであってもよい。このような金属フィルタはクリーンルームを浄化するのに有用である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
腐食性の酸性ガスを含む被処理ガスと接触して、反応し、前記酸性ガスを除去するための金属フィルタであって、ハニカム状又はフィン状である金属フィルタ。
IPC (3件):
B01J 20/28 ,  B01J 20/02 ,  B01D 53/40
FI (3件):
B01J20/28 A ,  B01J20/02 A ,  B01D53/34 118Z
Fターム (13件):
4D002AA19 ,  4D002AA23 ,  4D002AB01 ,  4D002BA03 ,  4D002DA70 ,  4G066AA02B ,  4G066BA01 ,  4G066BA05 ,  4G066BA07 ,  4G066CA07 ,  4G066CA31 ,  4G066CA32 ,  4G066DA02
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • ケミカルフィルター
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-128165   出願人:東レ株式会社
  • フィルタ濾材
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-082840   出願人:東レ株式会社
  • ガス吸着濾材
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2003-031588   出願人:大阪ガスケミカル株式会社
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審査官引用 (6件)
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