特許
J-GLOBAL ID：200903049515149230
種子結晶保持具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平井 安雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-116256
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291893
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：
【要約】【課題】 本発明はチョクラルスキー法(CZ法)によりシリコン単結晶を育成し引き上げる際に用いられる種子結晶保持具に関し、特に種子結晶とシードホルダーの種子結晶支持棒との接触を面接触にすることによって大口径且つ大重量の単結晶を引き上げることができる種子結晶保持具に関し、種子結晶と種子結晶支持棒の接触点の力を分散させシリコン単結晶の大口径化に伴う重量増加に十分対応可能な種子結晶保持具の提供を目的とする。【解決手段】 シードホルダー1に設けられた保持穴11に種子結晶3を挿入すると共にシードホルダー1に穿設されたピン穴12に平面部を有する種子結晶支持棒2を挿入し、この種子結晶3の側壁に形成された傾斜平面と前記種子結晶支持棒2の平面部とを面接触させることにより、大きな面積で応力を分散させて種子結晶支持棒2が種子結晶3を支持できることとなり、大口径化して重量が増加したシリコン単結晶を強固且つ安定して保持できる。
請求項（抜粋）：
チョクラルスキー法によりシリコン単結晶を育成し、引き上げる際に用いられる種子結晶保持具において、前記種子結晶を挿入して保持する保持穴と当該保持穴の中心軸より一定距離外れて当該中心軸に直交する方向に対して下方に傾斜させたピン挿入用のピン穴を有するシードホルダーと、前記シードホルダーのピン挿入用のピン穴に挿入される平面部を有する種子結晶支持棒を備え、前記シードホルダーの保持穴に挿入される種子結晶の側壁に取付下方に向かって切欠いた傾斜平面が形成され、当該傾斜平面と前記種子結晶支持棒の平面部とが面接触することを特徴とする種子結晶保持具。
IPC (3件)：
C30B 15/32
, C30B 15/36
, C30B 29/06 502
C30B 15/32
, C30B 15/36
, C30B 29/06 502 F
