特許

J-GLOBAL ID：200903049515979365

ガスレーザ発振器

発明者： 寺井 清寿 ,  小林 伸次 ,  村田 隆昭 ,  鈴木 博勝 ,  玉川 徹 ,  森口 晃
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-112944
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315688
出願日： 1992年05月06日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【構成】 本発明は、放電電極間に高周波の交流電圧を印加してレーザ光を発振させるガスレーザ発振器において、放電電極に高周波の交流電圧をオン,オフ動作させることで、放電電極の放電ギャップ間に電子捕捉現象を生じさせて、レーザパルス動作を行う。【効果】 本発明によれば、高周波電源をオン,オフすることのみでレーザパルス動作を行なうので、小型で総合効率が高く、レーザパルス特性の優れたガスレーザ発振器を提供することができる。

請求項（抜粋）：

レーザガスが循環して流れる循環流路と、この循環流路の途中に設けられたレーザガス循環用送風機と、前記循環流路に対向して配置された一対の放電電極と、この放電電極に交流電圧を印加する高周波電源とを有するガスレーザ発振器において、放電電極に高周波の交流電圧をオン,オフ動作させることで、前記放電電極の放電ギャップ間に電子捕捉現象を生じさせて、レーザパルス動作を行う高周波電源とを有することを特徴とするガスレーザ発振器。