特許
J-GLOBAL ID：200903049518776546
平面鏡の面特性測定方法及びステージの移動方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-255355
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122204
出願日： 1994年10月20日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】ステージ装置のテーブルの位置検出は、テーブル上に載置された移動鏡に光ビームを照射して、反射した光ビームを検出することにより行われる。しかしながら、正確にテーブルの位置検出を行うためには、移動鏡は理想的な平面ではないため、移動鏡の面特性を予め計測しておき、この計測値に基づいて、テーブルの位置を補正しなければならない。本発明は、使用するテーブル上にに載置された移動鏡の面特性を正確に計測することを目的とする。【構成】鏡面検査用干渉計をステージ装置を固定するベースに固定し、移動鏡の面特性を所定の幅だけ鏡面検査用干渉計で計測する。所定幅より小さい距離を移動鏡の面に沿って移動した位置で、再び面特性を計測する。これを繰り返して、移動鏡全面を計測して、それぞれの面特性計測値を演算によってつなぎ合せる。以上によって移動鏡の面特性を求めることができる。
請求項（抜粋）：
平面鏡と、前記平面鏡にコヒーレントな光ビームを照射して、前記平面鏡の幅よりも狭い所定の幅の面特性を同時に測定する鏡面検査用干渉計と、を準備する第1工程と、前記鏡面検査用干渉計によって、前記平面鏡の前記所定の幅の面特性を測定する第2工程と、前記平面鏡を、前記光ビームに対して直角方向に前記所定の幅よりも小さい距離だけ移動する第3工程を含み、前記第2工程と前記第3工程を繰り返すことを特徴とする平面鏡の面特性測定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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