特許
J-GLOBAL ID：200903049525554338
熱式流速センサの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-076592
公開番号（公開出願番号）：特開平9-264900
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 出力特性のバラツキが小さく、精度および信頼性が高い小型の熱式流速センサを低コストで製造する方法の提供を目的とする。【解決手段】 基板の一方の表面には凹部が形成され、他方の表面には犠牲層と、発熱抵抗体および測温抵抗体を設けた熱絶縁膜を含む感知層とが形成される。この結果、積層用ブロックが形成される。次に、一の積層用ブロックの凹部形成表面と、他の積層用ブロックの感知層の表面とが重なるように複数の積層用ブロックが一体に接合される。この後、一体に接合された複数の積層用ブロックから犠牲層を除去すると基板と感知層が分離し、熱式流速センサが形成される。
請求項（抜粋）：
基板の一方の表面に複数の凹部を形成する工程と、該基板の他方の表面に犠牲層を設ける工程と、該犠牲層の表面に抵抗体を複数設けた熱絶縁膜を含む感知層を形成する工程とから積層用ブロックを形成し、一の積層用ブロックの凹部部分に他の積層用ブロックの抵抗体が位置するように前記一の積層用ブロックの凹部形成表面と他の積層用ブロックの感知層の表面とが重なるように複数の積層用ブロックを一体に接合する工程と、この後前記犠牲層を除去して基板と感知層とを分離して複数のセンサ区分が一体に形成されたセンサブロックを形成する工程と、該センサブロックを切断して複数のセンサ区分を分離する工程とからなる熱式流速センサの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
