特許
J-GLOBAL ID：200903049526900701
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-328772
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160303
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 シート状検査対象の明欠陥と暗欠陥を精度良く検出することが可能で、安定した検査を行うことができる検査装置を提供する。【構成】 一次元撮像素子を有するカメラ10からの画像信号の一回又は複数回の走査における最高レベルと最低レベルをそれぞれ検出する手段18、20;22、24とこの各レベルの関数として以降の画像信号を2値化して明欠陥と暗欠陥を検出するための2つの閾値を発生する手段28と、これらの閾値をそれぞれ用いて画像信号を2値化する2つの2値化回路12A、12Bを有する。
請求項（抜粋）：
一定方向に移動するシート状検査対象を光が半透過するようその一方の面から前記光を照射し、前記検査対象の他方の面を、一次元撮像素子により撮像し、前記撮像素子からのアナログ画像信号を適当な閾値によって2値化して得た画像データを基に各種画像処理を行い、前記検査対象中に存在する欠陥を検出する検査装置において、前記アナログ画像信号を第1閾値によって2値化する第1の2値化手段と、前記アナログ画像信号を前記第1閾値より低い第2閾値によって2値化する第2の2値化手段と、前記第1及び第2の2値化手段によって得られた2値化データを基に、各々明るい欠陥及び暗い欠陥を検出する明欠陥検出手段及び暗欠陥検出手段と、前記アナログ画像信号の一回又は複数回の走査における最高レベルを検出する最大値検出手段と、前記アナログ画像信号の一回又は複数回の走査における最低レベルを検出する最小値検出手段と、前記最高レベル及び最低レベルの関数として以降のアナログ画像信号を2値化するための前記第1閾値及び前記第2閾値をそれぞれ算出する閾値発生手段を備えたことを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/89
, G01N 21/88
, G06F 15/64
