特許
J-GLOBAL ID：200903049530405642
積層型アクチュエータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-354941
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175567
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 1〜3次元の位置決め、駆動、角度調節を低い電圧により行うことができ、コンパクトで組み立てを容易にする。【構成】 圧電セラミックス板5において、対向する電極のうち+側電極2は4ヵ所に分けた分割電極2a〜dとし、-側電極3は共通電極とする。積層型3次元変位素子1aは、圧電セラミックス板5を分極方向4を交互に変え、+側電極2のスリット部8を合わせて接着剤により積層する。-側電極3を接続したリード線7、分割電極2a〜dを縦方向に接続したリード線6a,6b,・・・を、独立した電圧印加装置および制御装置に接続する。
請求項（抜粋）：
両面に設けられた電極の内、少なくとも一面側の電極を複数に分割構成した電気-機械エネルギー変換素子を、複数枚積層した積層型アクチュエータにおいて、上記電気-機械エネルギー変換素子上の分割された電極にそれぞれ印加する駆動電圧を、該分割された電極毎に制御することを特徴とする、積層型アクチュエータ。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, G05D 3/00
, H02N 2/00
, G01B 7/34
