特許
J-GLOBAL ID:200903049536677032

透光性物体中の散乱体検出方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 泉名 謙治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-282295
公開番号(公開出願番号):特開平5-215688
出願日: 1991年10月02日
公開日(公表日): 1993年08月24日
要約:
【要約】【目的】蛍光性透光物体中の散乱物の検出を精度良く行う。【構成】透光性物体14中の検査領域14b内の散乱体17を検出するために、検査領域14bとは異なる蛍光発生領域14aに、励起光源11からの励起光を蛍光領域波長遮断フィルタ18を介して照射する。蛍光発生領域14aでは、励起光により特定の波長の蛍光16aが発生し、この蛍光16aのうち一部は一種のエッジライト光として透光性物体14中を伝播する。伝播した蛍光16aは検査領域14bに達し、その中の散乱体17により散乱されて被検査物たる透光性物体14外に出、励起光領域波長遮断フィルタ13を通して、光検出器12で検出されて電気信号となり、画像処理装置15で画像処理され検出データとなる。
請求項(抜粋):
蛍光性を有する透光性物体中の散乱体検出方法であって、透光性物体中に蛍光を発生させる励起光を照射し、該励起光により発生して、透光性物体中を伝播し、所定の検査領域に到達した前記蛍光のうち、透光性物体中の散乱体にて散乱されて透光性物体外に出射する光を検出する、ことを特徴とする透光性物体中の散乱体検出方法。
IPC (2件):
G01N 21/88 ,  G01N 21/64

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