特許
J-GLOBAL ID：200903049538283465
模擬操作装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-015239
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232033
出願日： 1993年02月02日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造装置の誤操作を低減する。【構成】 模擬操作装置1は、半導体製造装置の模擬的な動作を指示する制御プログラムの格納された制御ファイル部3と、制御プログラムに基づいて半導体製造装置の模擬的な動作を制御するCPU4と、半導体製造装置の模擬的な操作の内容を指定する入出力装置5の入力装置と、半導体製造装置の模擬的な動作状態を表示する入出力装置5の出力装置とを備えている。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置の模擬的な動作を指示する制御プログラムが格納された記憶部と、前記制御プログラムに基づいて前記半導体製造装置の模擬的な動作を制御する中央処理部と、前記半導体製造装置の模擬的な動作の内容を指定する入力装置と、前記半導体製造装置の模擬的な動作の状態を表示する出力装置とを備えてなることを特徴とする模擬操作装置。
引用特許：
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