特許

J-GLOBAL ID：200903049539207991

セラミック抵抗体及びその製造方法並びに静電チャック

発明者： 神谷 哲
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-245836
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087727
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】対数抵抗温度係数が小さく、特に-150°Cから200°Cの温度範囲内において、108〜1012Ω・cmの体積固有抵抗値が得られるセラミック抵抗体と、このセラミック抵抗体を用いて大きな吸着力が得られるとともに、離脱性に優れ、熱伝導率が高い静電チャックを提供する。【解決手段】AlNを主成分とし、副成分として酸化セリウムを含有した焼結体であって、この焼結体の対数抵抗温度係数が2.2以下である窒化アルミニウム質焼結体によりセラミック抵抗体を形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

AlNを主成分とし、副成分として酸化セリウムを含有した窒化アルミニウム質焼結体からなり、対数抵抗温度係数が2.2以下であることを特徴とするセラミックス抵抗体。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  C04B35/581

FI (2件)：

H01L21/68 R ,  C04B35/58 104B

Fターム (14件)：

4G001BA11 ,  4G001BA36 ,  4G001BB11 ,  4G001BB36 ,  4G001BC42 ,  4G001BC54 ,  4G001BD03 ,  4G001BD38 ,  4G001BE01 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031HA37

引用特許：

審査官引用 (1件)

• セラミック抵抗体及びその製造方法並びに静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-292310   出願人：京セラ株式会社