特許
J-GLOBAL ID：200903049540901923
半導体製造装置とその制御方法及び制御装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-294423
公開番号（公開出願番号）：特開平5-135064
出願日： 1991年11月11日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造装置でプロセスシーケンスを記述したプロセスレシピを交換したときに各種の制御目標値を設定したテーブルファイルの交換を確実且つ簡易に行う。【構成】 プロセスレシピには、半導体製造装置の各プロセス装置を制御する通常のイベント定義部等の他に、所定領域にコンビネーションテーブルを設ける。そして、このコンビネーションテーブルに、そのプロセスレシピが必要とする制御目標値を記述したテーブルファイルの名称を書き込む。プロセスレシピを交換したとき、半導体製造装置のCPUはこのコンビネーションテーブルに書き込まれた名称を解析して、システムメモリに書き込まれてないファイル名称を知り、そのファイルをメモリカード等の外部記憶装置から自動的に読み出してシステムメモリの所要領域に書き込む。
請求項（抜粋）：
プロセスレシピが半導体製造装置を制御するに際し外部記憶装置に格納されている各種ファイルから必要な制御パラメータの値を読み出し制御する方法において、そのプロセスレシピが必要とするファイルの名称の組み合わせを指定する領域を当該プロセスレシピに設け、該領域に指定されているファイル名のファイルを外部記憶装置から読み出して使用することを特徴とする半導体製造装置の制御方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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