特許

J-GLOBAL ID：200903049541569035

振動波アクチュエータの駆動装置

発明者： 片岡 健一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 本多 小平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-128841
公開番号（公開出願番号）：特開平5-328757
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 振動波アクチュエータの振動状態をモニタすることなく駆動周波数をコントロールし、且つ速度制御レンジが広く、外乱に強い制御を実現できる振動波アクチュエータの駆動装置を提供する。【構成】 パルス幅指令PSが小さく、減速しようとする場合、Pdは正の値になるため、係数要素18と積分要素21、リミット要素22を通して出力される値は正に増加し加算要素33で初期周波数Foを加算して得れる周波数指令FSは高周波方向に変化して行き、速度Voは減速するため、パルス幅指令PSの絶対値は増加し、パルス幅はPoに近付いていく。又、パルス幅指令PSがパルス幅Poより大きくなり、すなわち加速しようとする場合は、周波数指令FSは低周波方向に変化して行き、速度Voは加速されるためパスル幅指令PSの絶対値は減少し、パルス幅はPoに近付いていく。この様にして周波数指令FSはパルス幅指令PSがパルス幅Poになるように制御される。

請求項（抜粋）：

位置的位相の異なる複数の駆動相を有する圧電素子等の電気-機械エネルギー変換素子における該複数の駆動相に交流電圧を印加することにより振動弾性体に進行性振動波を形成させ、該振動弾性体と該振動弾性体に加圧接触する部材とを相対的に移動させる振動波アクチュエータの駆動装置において、該振動波アクチュエータの被駆動部材の状態を検出する検出手段と、該検出手段からの検出情報に基づいて設定目標値との偏差を求めると共に、この偏差に応じて電圧に依存する駆動信号を制御する第1の制御手段と、該偏差に応じて該駆動信号の電圧の目標値が予め設定され、該電圧の目標値と該第1の制御手段の出力情報との偏差に追従して該駆動信号の周波数を制御し、該駆動信号の電圧値を目標値となるように制御する第2の制御手段とを有することを特徴とする振動波アクチュエータの駆動装置。