特許
J-GLOBAL ID：200903049547893500
ねじり変位デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247884
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097527
出願日： 1992年09月17日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 接着工程が不要であって、構造が簡単でヒステリシスがなく、屈曲変位を極力抑え、かつ、できるだけねじり変位のみを生ずるねじり変位デバイスを提供する。【構成】 自発分極軸(Z軸)を基準にしてX軸を中心として回転角θだけ回転させた角度で切断され厚さ方向に所定の厚さの分極反転層を有するLiNbO3基板をX軸と直交するZ ́軸から角度φだけ傾斜した角度で切断して得られた回転Y板1からなる。ねじり振動に関連するすべり効果圧電歪定数d25の値が大きくかつ屈曲振動に関連する横効果圧電定数d23の値がほぼ0となるように前記回転角θと前記角度φを選定した。
請求項（抜粋）：
自発分極軸(Z軸)を基準にしてX軸を中心として回転角θだけ回転させた角度で切断され厚さ方向に所定の厚さの分極反転層を有するLiNbO3 基板をX軸と直交するZ ́軸から角度φだけ傾斜した角度で切断して得られた回転Y板からなり、前記回転角θおよび角度φは、屈曲変位が小さく、かつ、ねじり変位のみを効率良く発生させる値としたことを特徴とするねじり変位デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/08 Z
, H01L 41/18 101 A
