特許
J-GLOBAL ID：200903049547938539
輻射波検出素子
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-224873
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194221
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 応答性の良い焦電型赤外線センサ、ならびにクロストークの影響を無視できる小型のマルチエレメントの焦電型赤外線センサを提供する。【構成】 絶縁材料、半導体材料あるいは複合材料からなる基板上あるいは基板内部に除去可能な部分を形成し、その上部に支持層を形成し、前記除去可能な部分を除去することで形成することで下部に空隙を持つ支持層を形成後、さらにその上部に電極、焦電材料からなる薄層、電極を形成することにより焦電型赤外線センサを構成する。【効果】 焦電型赤外線センサの変換効率、応答性を改善し、各素子の熱的分離ができる。
請求項（抜粋）：
絶縁材料、半導体材料あるいは複合材料からなる基板に、下部に空隙を持つことができる支持層を形成後、その支持層上部に温接点を形成し、空隙を持たない支持層上に冷接点を有する如く形成した1つ以上の熱電対を含む輻射波検出部を1ヶ所以上有することを特徴とする輻射波検出素子。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/00
