特許
J-GLOBAL ID：200903049548241302
パターン転写装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-287231
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138641
出願日： 1992年10月26日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】コピーマスクを複製するパターン転写装置において、真空圧で密着保持されるマスターマスク4とガラス基板41の光軸に対する傾き調整を密着状態でより迅速にかつ容易に実施出来るとともに従来装置で生じていた調節ねじによる保持板の損傷を無くす。【構成】保持板2の各辺における部位を押圧する複数本の油圧シリンダ3と、これら油圧シリンダ3の油圧を変える油圧制御弁7と、油の流れを切換える切換弁8と、油を圧送する油圧源と、真空圧で密着保持されるマスターマスク44及びガラス基板41の光軸に対する真交度を測定する平坦測定器5と、保持板1,2と平坦度測定器5を同一水準に載置する基台4とを設け、真空圧でマスターマスク44とガラス基板41を真空圧力で密着した状態で、各油圧シリンダ3の油圧を調整し、マスターマスク44とガラス基板41の光軸に対する傾きを修正し、光軸と転写面の直交度を設定してから露光光を投射してガラス基板41にマスターマスク44のパターンを転写する。
請求項（抜粋）：
パターンが形成される原板と転写される基板とをパッキングを介して気密に密着させる二枚の保持板と、これら原板と基板との間を真空排気して密着させる真空排気装置と、前記保持板のいずれかの保持板の所定の位置に取付けられるとともにピストンの先端で残りの前記保持板の面を押す複数本の油圧シリンダと、この油圧シリンダに油を圧送するとともに油圧を可変出来る油圧装置を備えることを特徴とするパターン転写装置。
IPC (3件)：
G03F 1/08
, G03B 27/02
, G03B 27/18
