特許

J-GLOBAL ID：200903049554435488

光学部品

発明者： 池田 浩 ,  渡邊 正
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185767
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013304
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】 生産性がよく、低コストで提供可能であり、紫外光領域内の広帯域で反射防止効果の良好な反射防止膜を有する光学部品を提供する。【解決手段】 石英もしくは蛍石からなる光学部品の表面に、設計波長λを230nmから300nmとして前記表面側から空気側へ順に、第1層として、光学的膜厚が0.9×λ/4以上、1.3×λ/4以下のAl2O3薄膜と、第2層として、光学的膜厚が2.0×λ/4以上、2.6×λ/4以下のHfO2薄膜と、第3層として、光学的膜厚が0.9×λ/4以上、1.3×λ/4以下のMgF2薄膜とを有する反射防止膜を設けた。

請求項（抜粋）：

石英もしくは蛍石からなる光学部品の表面に、設計波長λを230nmから300nmとして前記表面側から空気側へ順に、第1層として、光学的膜厚が0.9×λ/4以上、1.3×λ/4以下のAl2O3薄膜と、第2層として、光学的膜厚が2.0×λ/4以上、2.6×λ/4以下のHfO2薄膜と、第3層として、光学的膜厚が0.9×λ/4以上、1.3×λ/4以下のMgF2薄膜とを有する反射防止膜を設けたことを特徴とする光学部品。

Fターム (6件)：

2K009AA06 ,  2K009BB01 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  2K009EE00